Độ lệch vị trí dụng cụ đề cập đến việc thiết lập độ bù cho các lỗi gây ra bởi hình dạng của dụng cụ thực sự được sử dụng liên quan đến hình dạng của dụng cụ được giả định trong chương trình (thường là công cụ tham chiếu). Độ lệch vị trí dụng cụ là một cài đặt để bù các sai số do hình dạng của dụng cụ được sử dụng trong hoạt động thực tế gây ra.